相變存儲(chǔ)器利用電脈沖誘導(dǎo)存儲(chǔ)材料在非晶態(tài)與晶態(tài)之間切換,具有非揮發(fā)性、循環(huán)壽命長(zhǎng)、寫入速度快、穩(wěn)定性好、功耗低等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界認(rèn)為是下一代存儲(chǔ)技術(shù)的最佳解決方案之一。上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所聯(lián)合中芯國際集成電路制造有限公司,選擇以嵌入式相變存儲(chǔ)器(PCRAM)為切入點(diǎn),在國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃納米科技重點(diǎn)專項(xiàng)、國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)(02專項(xiàng))、國家自然科學(xué)基金、中國科學(xué)院A類戰(zhàn)略性先導(dǎo)科技專項(xiàng)、上海市領(lǐng)軍人才、上海市科委等項(xiàng)目的資助下,經(jīng)過十余年的研究,在存儲(chǔ)材料篩選、存儲(chǔ)芯片設(shè)計(jì)、PCRAM的基礎(chǔ)制造技術(shù)等方面取得系列重要科技進(jìn)展。